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１巡检时应检查各真空隔膜阀的气源压力是否正常、气路（仪表空气管、滤减压阀、阀门定位器等）的紧固件是否松动、仪表空气是否有泄漏。２巡检时应检查填料函及法兰连接处是否有工艺介质泄漏，阀杆连接件是否紧固，阀杆是否有严重的摩擦划痕或变形。３巡检时需检查仪表线路的防护情况，仪表进线口密封是否良好。４巡检时应检查阀杆运动是否平稳，行程与输出信号是否基本对应，隔膜阀各部件有无锈蚀，重点是阀杆、紧固件、气缸等。
我国将隔膜阀分为全启和微启2种。全启式真空隔膜阀开启高度是喉径的1/4，是一种大流量排放介质的安全阀（一般用于蒸汽或可压缩气体中）；的开启高度是喉径的1/20或1/40，是一种小流量排放介质的安全阀（一般用于如水的不可压缩介质中）。全启式安全阀：应用在蒸汽介质是一般有一个突然全开动作，此突开动作时的压力为整定压力（突跳压力）；应用在空气介质是，先打开与进口压力增加开高呈比例升高，然后再突然起跳全开，称二段式开启；一般不可用于液体介质。微启式安全阀：先打开与进口压力增加开高呈比例升高，压力下降时亦随进口压力下降开高呈比例下降，一般用于液体介质（或保护管道时用于可压缩气体）。
截止阀是利用阀杆升降带动阀头，从而改变阀盘与阀座之间的距离达到启闭控制的阀门，隔膜阀是在化工生产中使用范围最广的截断类阀门。截止阀在实际生产中主要用于水、蒸汽、压缩空气等管路的控制，但不宜应用于粘度大易结晶的材料。真空隔膜阀的结构较为复杂，但实际操作简便省力，在调节流量和截断通道方面有较好表现，启闭速度慢极少出现水锤现象。截止阀的结构紧凑，外形有较明显特点，阀门顶部设有手轮和阀杆，中间设有螺纹和填料函密封段。
作为近几年才出现的进排气设备，是根据气缸原理制成的不同于其他任何一种进排气阀的全新装置，其原理是用浮筒杠杆等控制气缸内气动膜片动作，从而控制阀体排气口启闭。在高压(1MPa 以下)状态下，无论是多段水柱、气柱相间，有压无压气体均可高速排出。隔膜阀结构上的主要特点是：大、小排气口或仅大排气口的有效排气口径不小于排气阀公称直径的70%，排气口径大，排气速度快，且在任何情况下均可高速排气。一般设计者在选择排气阀时以排气阀的公称直径计算排气量。真空隔膜阀则完全能满足设计要求，真正起到防止管道出现水锤和爆管的作用。
